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清洗机的问题是最顽固的。
颗粒物超标。0.1微米以上的颗粒，每片晶圆能测出100多个。对于28纳米工艺来说，这个数字意味着“几乎每片晶圆都有致命缺陷”。
所有人认为是设备老化。
毕竟这台清洗机也是二手淘回来的，2009年出厂，用了六年，在原来的工厂就是“备用机”。
苏辰这次没有直接看设备。
他调出了过去一周的纯水系统水质报告。
从原水箱到RO膜，从EDI模块到抛光混床，从储水罐到分配管路——每一段的水质数据，他看了整整两个小时。
然后他问：“RO膜，什么时候换的？”
负责厂务的工程师愣了一下：“RO膜？去年……去年年底吧。”
“换膜前后的水质对比报告有吗？”
“有。”工程师调出文档。
苏辰对比了两组数据：
换膜前：电阻率18.2兆欧，颗粒度0.05μm/5个。
换膜后：电阻率18.1兆欧，颗粒度0.05μm/8个。
他指着那行“0.05μm/8个”：“这里有问题。新膜的颗粒度应该比旧膜低一个数量级，至少降到2个以下。现在这个数据，说明RO膜有破损。”
工程师脸色变了。
他立刻带人去检查纯水系统。
两小时后，结果出来了：RO膜内侧，一道肉眼几乎看不见的裂纹。
换膜。
当天晚上，清洗机重新开机。
颗粒度检测：0.05μm/5个——达到行业顶尖水平。
深夜22:00，苏辰脱下无尘服，走出更衣室。
车间门口，黑压压站着一群人。
李建勋、陈天桥、张工、周工、林晓，还有几十个工程师、技术员。没人说话，都看着他。
李建勋往前走了一步。
他的眼眶很红，声音沙哑：
“苏总，三天……三天您把三条线的核心故障全解决了。”
“光刻机，台积电的工程师排查一晚上没找到原因，您三十分钟找到。”
“刻蚀机，日本专家说要换全套腔体，您半小时发现是电极板倾斜。”
“清洗机，所有人以为是设备老化，您看水质报告看出是RO膜破损。”
他顿了顿：“苏总，我在台积电十二年，见过无数老板。但您这样的——我没见过。”
人群里，周工的声音传来：
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